Електронни и йонни технологии

В произведението са разгледани физическите явления, свързани с генерирането на мощни потоци от електрони и йони. Систематизирани са ключовите находки относно технологичното взаимодействие между ускорените частици и различните материали. Обсъдено е прилагането на тънки покрития чрез йонно разпрашване и електроннолъчево изпарение. Включени са процесите по обработка на микроелектронни структури посредством йонно ецване, имплантиране на йони, както и електронна и йонна литография. Предоставена е информация за съвременните методи за анализ на повърхности и микроструктури с помощта на електронни и йонни лъчи. Анализирани са протичащите процеси, актуалното състояние и успехите в областта на електроннолъчевото заваряване, топене, рафиниране, а също така модификацията на повърхностите с помощта на електронни или йонни лъчи. Осигурени са данни относно конструкцията и работния принцип на използваните устройства; описани са подходи за избор на технологичните параметри; приведени са алгоритми за компютърното моделиране нa тези процеси, както и обсъждани резултати от проведените числени експерименти от автора и неговия екип.